The growth of 3C-SiC on Si substrate using a SiCN buffer layer He, X. L. ; Chai, X. Z. ; Yu, L. ; Han, P. ; Fan, S. ; Ji, X. L. ; Li, Z. Y. ; Liu, B. ; Tao, T. ; Li, J. L. ; Xie, Z. L. ; Xiu, X. Q. ; Chen, P. ; Hua, X. M. ; Zhao, H. ; Zhang, R. ; Zheng, Y. D. Abstract Publication: Thin Solid Films Pub Date: September 2018 DOI: 10.1016/j.tsf.2018.08.001 Bibcode: 2018TSF...662..168H