流路長の長い矩形スリットのコンダクタンス測定; 流路長の長い矩形スリットのコンダクタンス測定; Conductance of a Long Rectangular Channel —Pressure Dependence—
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2017
- DOI:
- 10.3131/jvsj2.60.475
- Bibcode:
- 2017JVSJ...60..475O