電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能; 電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能; Performance of a Sample Transfer Vessel with a Battery-Driven Ion Pump
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2016
- DOI:
- 10.3131/jvsj2.59.192
- Bibcode:
- 2016JVSJ...59..192K