位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ; 位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ; Micro Inertial Driving Actuator with Built-in Position Sensor
Abstract
- Publication:
-
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
- Pub Date:
- 2014
- DOI:
- 10.1541/ieejsmas.134.140
- Bibcode:
- 2014IJTSM.134..140M