Evaluation Of Ni(Si1-xGex) and Pt(Si1-xGex) Contact Resistance for FD-SOI PMOS Metallic Source and Drain Bourjot, Emilie ; Nemouchi, Fabrice ; Carron, Véronique ; Morand, Yves ; Bernasconi, Sophie ; Vinet, Maud ; Damlencourt, Jean-François ; Allain, Fabienne ; Cueto, Olga ; Lafond, Dominique Abstract Publication: ECS Transactions Pub Date: March 2013 DOI: 10.1149/05009.0197ecst Bibcode: 2013ECSTr..50i.197B