TiNセラミック膜の局所伸びの発生位置による形態の相違; TiNセラミック膜の局所伸びの発生位置による形態の相違; Difference of Elongated Morphology at Generation Position of TiN Ceramic Film
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2003
- DOI:
- 10.3131/jvsj.46.325
- Bibcode:
- 2003JVSJ...46..325I