Tiコートした(011)[100]珪素鋼単結晶板およびフェライトステンレス鋼板の曲げ変形時の試料の方向によるTi被膜に発生するクラックの相違; Tiコートした(011)[100]珪素鋼単結晶板およびフェライトステンレス鋼板の曲げ変形時の試料の方向によるTi被膜に発生するクラックの相違; Difference of Crack Behavior Observed in Ti Films when Bend Testing due to the Cutting Direction of Sample of Ti-coated Steel Sheets between the Films Coated on an (011) [100] Si-steel Single Crystal and a Ferritic Stainless Steel.
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2002
- DOI:
- 10.3131/jvsj.45.422
- Bibcode:
- 2002JVSJ...45..422I