ドライポンプ アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気; ドライポンプ アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気; Dry Pump. Roots Dry Vacuum Pump Made of Aluminum Cast Alloy and Reactive Gas Pumping.
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2000
- DOI:
- 10.3131/jvsj.43.564
- Bibcode:
- 2000JVSJ...43..564A