連続式真空蒸着機におけるアルミニウム希薄蒸気流のモンテカルロシミュレーション; 連続式真空蒸着機におけるアルミニウム希薄蒸気流のモンテカルロシミュレーション; Monte-Carlo Simulation of Rarefied Vapor Flow of Aluminum in an Air-to-Air Metallizer.
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 1997
- DOI:
- 10.3131/jvsj.40.431
- Bibcode:
- 1997JVSJ...40..431I