反応性大電力パルススパッタリング(R-HiPIMS)における遷移領域制御技術; 反応性大電力パルススパッタリング(R-HiPIMS)における遷移領域制御技術; Transition Mode Control in Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering (R-HiPIMS)
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2017
- DOI:
- 10.3131/jvsj2.60.346
- Bibcode:
- 2017JVSJ...60..346S