減圧CVD法による超硬チップ上へのHfC-(Hf・Ti)C-TiCトリプルコーティング膜の生成及び耐摩耗性; 減圧CVD法による超硬チップ上へのHfC-(Hf・Ti)C-TiCトリプルコーティング膜の生成及び耐摩耗性
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 1988
- DOI:
- 10.3131/jvsj.31.736
- Bibcode:
- 1988JVSJ...31..736F