反応性イオンエッチング(RIE), 及びスパッタ及び化学気相成長法(CVD)におけるシミュレーション; 反応性イオンエッチング(RIE), 及びスパッタ及び化学気相成長法(CVD)におけるシミュレーション
Abstract
- Publication:
-
Journal of the Vacuum Society of Japan
- Pub Date:
- 2007
- DOI:
- 10.3131/jvsj.50.411
- Bibcode:
- 2007JVSJ...50..411T